SMC直通型速度控制阀,SMC气动控制阀,日本SMC控制阀原理

SMC直通型速度控制阀,SMC气动控制阀,日本SMC控制阀原理
温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信，多用于半导体工艺设备。
符合UL和SEMI标准、CE规格。
可选择带变频器类型。
帕耳帖式温控器  HEC
高精度温控器
系列/
CAD 设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液
HEC  10～60℃ 230W ±0.01～
0.03℃ 帕尔贴式
空冷却式 清水
600、1200W ±0.01～
0.03℃ 帕尔贴式
水冷却式 清水
氟素化液
特长 用于高精度的温度控制。
用帕尔贴式元件可实现无氟里昂高精度温度控制。
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VX2120-01-3DZ1
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VX2120-01-3G
VX2120-01-3GX21
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：\39526590\39529839/39529830转8005或者8002
//
\39529831\39529839\39529839-8007或者8008
/
公司;sob-bm.com
；单荣兵/余娟
SMC直通型速度控制阀,SMC气动控制阀,日本SMC控制阀原理
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