BURKERT毛细管传感器作用,介绍宝得毛细管传感器

BURKERT毛细管传感器作用,介绍宝得毛细管传感器
主管道中的层流元件产生个必需的压差，使小部分流量进入旁路管道。
旁路管道内壁上装有带膜硅芯片，用于测量流量。
采用 CMOS 传感器技术，在这块膜上有个加热电阻和两个对称的
温度传感器（分别位于上游和下游）。
如使加热电阻保持在个恒定温度，
则两个温度传感器的压差即可用于测量旁路通道内流过芯片的气体的流量。
 该温度传感器的热量低、与介质直接接触，因此具有许多特定的优势，
其中之就是对于流量变化的响应极快。

BURKERT毛细管传感器作用,介绍宝得毛细管传感器

带 CMOS 传感器的 MFC 具有100 ms 的响应时间，且灵敏度高，即使流量很小时也是如此。
与 CMOS 传感器样，毛细管传感器也是采用层流元件来产生压差，
使小部分流量进入旁路管道。而主要区别在于：毛细管传感器不与介质直接接触。
两个温度相关的电阻缠绕在不锈钢毛细管上，构成半个惠斯顿电桥。
当气体流过毛细管时，就会带走部分热量，流向为从 R1 R2。
这时，R1 的阻值下降，而 R2 的阻值上升。
如果给电桥提供恒定的电流，其输出电压就与这两个电阻的差值成正比。
因此该输出电压与流过的气体的流量成线性关系。
其线性关系甚使该传感器可用于未经标定的气体：
通过采用个转换因子对当前介质的测量值进行修正。
这样就可简化标定，同时正确选择传感器材质可确保毛细管传感器适用于腐蚀性气体。